第277章 光刻机测试(上)

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    宁雪画完一个线条,放下铅笔,站直身体,活动一下发酸的腕,道:“这是打板用的图纸,画幅太大,家里的打印根本打印不出来。除非购买专用的绘图仪,才能借助计算画这么大的图纸。”

    吴志航尴尬一笑,道:“我对你们服装行业还真不太了解,还以为服装设计图和电路图一样,都能用打印打印呢。雪,深圳那边研发的光刻已经生产出了样,明天我要回国去见证光刻的第一次测试,你要一起回去吗?”

    宁雪摇摇头,道:“飞雪公司刚刚创建,连一件产品都没卖出去,我肯定不能此时回国,你先自己回去吧。天地玄门不是能设置三个固定穿越点吗,你在浅水湾别墅那里设一个穿越点,以后白天在深圳上班,晚上通过天地玄门回浅水湾别墅陪我睡觉不就可以了。”

    吴志航凑过头去,在宁雪额头亲了一口,道:“还是老婆你聪明,有了天地玄门,咱们就再也不怕两地分居了。”

    宁雪脸颊羞红的将吴志航推开,道:“这还在公司呢,不要动动脚的。”

    第二天,吴志航驱车返回了深圳电子产业园,连别墅也没回,第一时间就来到了晶圆工厂。光刻需要工作在超高无尘环境下,刚刚组装完成的测试样正在无尘车间内安装调试。吴志航换了一身白色防尘服,戴上防尘帽,通过风淋间进入无尘车间。

    此时是上午十点左右,处于每天的早班时间,晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作,数千名工人,正在生产线上,有条不紊的工作。走过生产区域,进入测试区域,以梁安平为首的几十名研究人员,正围在一台一人多高的设备,做最后的调试,旁边还有几名北极星公司的高管站在那里围观。吴志航凑上前去,朝研发部长吴光辉问道:“这台就是光刻研发实验室制作出的第一台光刻,什么时候能开始光刻测试?”

    听到有人提问,杨威力、丁雅等人同时转头看过来,见是老板吴志航,纷纷打招呼问好,吴光辉出声给吴志航解释道:“对,就是这台器,昨天组装完成之后,第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间,经过一天一夜的安装调试,现在已经要差不多了。”

    吴志航满意的点点头,围着光刻转了一圈,这台设备为全封闭结构,就像一个四四方方的铁皮文件柜,外壳喷涂成了乳白色,左右两侧,设置有硅晶圆入口和出口,靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道:“只看外表,和佳能、尼康的光刻似乎都不太一样,这是对外壳进行了优化吗?”

    吴光辉摇摇头,道:“不止优化了外壳,也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分05微米光刻的预研资料吗,梁教授他们研发一微米光刻的时候,参考了05微米光刻的内部结构,对设计图进行了一些更改优化。理论上来,这些优化对晶圆的加工速度和加工精度,都有所提升,实际情况如何,还需要测试过后才知道。”

    梁安平等人又忙活了半个多时,光刻终于调试完成,将提前准备好的掩膜固定到掩膜工作台上。杨威力通过对讲沟通,让一位名为白巧玲的女工,送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆,梁安平亲自动,将硅晶圆安置到光刻晶圆入口处的支架上,然后按下操作面板上的启动按钮。光刻内部传出细微的械转动声音,一张硅晶圆被械臂送进光刻内部,在深色玻璃观察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,开始对硅晶圆进行加工。

    见状,吴志航出声询问道:“这台光刻使用的是哪种光源,是高压汞灯产生的436ng-lne和365n-lne,还是24n的krf(氟化氪)准分子激光作为光源?”

    吴光辉答道:“现在使用的是高压汞灯产生的365n-lne作为光刻光源,理论上,这种光源能一直将光刻的加工精度提升到035微米,作为未来一两代光刻的光源足够使用了。准分子激光光源,是下一代光刻光源技术,咱们研发部已经立项开始研发,但这种技术在世界范围内,也是最前沿研发项目,开发难度非常高,不是短期内能攻克的。”

    这台光刻的加工速度还是很快的,即使是初次测试,白巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内,全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上,多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜,是晶圆工厂正在生产的arm芯片掩膜,其复杂程度和尺寸大,是晶圆工厂出产的所有芯片之最。按照原本的计划,第一次光刻测试,应该选用最为简单的单片芯片作为加工目标,这样一来,就可以从易到难,逐步查漏补缺,将光刻修改完善。但梁安平和几个主要研发人员,对光刻测试样非常有信心,直接上了最大难度,也是需求量最大的arm芯片。

    北极星公司推出的第二代游戏掌上市之后,立刻受到电玩爱好者的热捧,仅仅上市半个多月,就售出了300万台。随配送的超级玛丽和功夫子两款游戏,在画面、音效、游戏可玩性上,碾压市面上的所有游戏。游戏掌热销,作为主控芯片的arm需求量大增,可是产品合格率始终徘徊在60%0%之间,提升速度非常缓慢。经过孟刚、梁安平,几个相关领域的专家研究分析,认为arm合格率过低的原因恰恰是光刻精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备,能正常生产芯片就不错了,想要苛求加工参数完全达标,几乎不可能。其中影响最大的,就是作为核心设备的光刻。请牢记:,免费最快更新无防盗无防盗